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ヒューグルエレクトロニクスの評判は?半導体・ディスプレイ製造向け洗浄・除塵装置の専門メーカー

会社紹介
公開:2026.01.29 更新:2026.01.30
ヒューグルエレクトロニクスの評判は?半導体・ディスプレイ製造向け洗浄・除塵装置の専門メーカー

半導体やフラットパネル、精密製造の現場では、微細な異物や静電気、洗浄不十分による不良が製品品質や歩留まりに大きく影響します。こうした課題を解決するためには、高精度かつ信頼性の高い装置と、現場に即した柔軟な対応力が求められます。

ヒューグルエレクトロニクスは、半世紀以上にわたり洗浄・除塵・静電気対策装置の開発・提供を通じて、産業の現場における品質向上と生産安定に貢献してきた企業です。

この記事では、ヒューグルエレクトロニクスの事業内容や代表的な製品、その特徴について詳しく解説します。

ヒューグルエレクトロニクスとは

ヒューグルエレクトロニクスのロゴ

引用元:ヒューグルエレクトロニクス

ヒューグルエレクトロニクスは1969年、半導体産業の創世期に、半導体製造装置分野で世界をリードしていた米国ヒューグルインダストリーズ社の極東支社として発足しました。

最先端技術が集約される時代背景の中で、海外の先進的なノウハウに直接触れながら事業を開始したことは、その後の成長における大きな基盤となっています。

◇独立メーカーとしての成長と技術蓄積

1971年には独自のメーカーとしての体制を確立し、以降半世紀にわたり技術力の向上と製品開発を継続してきました。米国企業からの技術導入や共同開発を重ねることで、時代の要請に応える数多くの製品を市場に投入し、半導体・電子デバイス関連をはじめとする幅広い産業分野の発展に貢献してきた実績を有しています。

会社名ヒューグルエレクトロニクス株式会社
所在地〒102-0072
東京都千代田区飯田橋4-5-7
電話番号03-3263-6662
公式ホームページhttps://hugle.co.jp/

◇幅広い分野を支える事業内容

同社の事業は、半導体およびフラットパネル製造関連機器の開発・製造・販売を中心に、静電気除去装置(イオナイザ)や静電気測定機器、半導体容器洗浄装置、FPDおよびウェブ向け超音波ドライクリーナーなど多岐にわたります。製造現場の品質安定や歩留まり向上を支える装置群は、多くの現場で高く評価されています。

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◇企業理念とこれからの展望

ヒューグルエレクトロニクスの外観
引用元:ヒューグルエレクトロニクス

ヒューグルエレクトロニクスは「感謝を以て人との出会いを大切に」という創業時の理念を今も大切にしています。この精神を基盤に、新製品の開発と最善のサービス提供に取り組み続けることで、今後も産業の進化を技術で支える存在であり続けることを目指しています。

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ヒューグルエレクトロニクスの製品紹介

データをまとめる会議の様子

引用元:フォトAC

ヒューグルエレクトロニクスは、半導体やディスプレイ、ウェブ製造工程向けに、高精度な洗浄・除塵・静電気対策装置を提供しています。各種装置の特徴や用途を分かりやすく紹介します。

◇容器洗浄装置

容器洗浄装置は、半導体製造工程で使用されるウェハ専用容器(カセット・ボックス)やレチクル専用容器を対象とした洗浄装置です。200mm以下のウェハ用容器から、300mmウェハ対応の各種FOUP・FOSB、レチクル容器まで幅広く対応しており、マニュアル機から全自動機まで多様なラインアップを備えています。

生産規模や運用条件に応じた柔軟な選定が可能で、高い納入実績を誇るトップシェアメーカーの装置として、国内外で広く採用されています。

FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム IF-12

FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム IF-12

引用元:ヒューグルエレクトロニクス

IF-12は、12インチ対応のFOUP/FOSBマニュアル洗浄装置で、半導体製造における高い生産性維持と品質向上を支えるシステムです。

1台で各種FOUP・FOSBの洗浄から乾燥までを一貫して行うことができ、ヒューグル独自のチャンバー構造により、プロセスキットの変更や段取り替えを必要としません。高スループット設計と省フットプリントを両立し、限られた設置スペースでも効率的な運用が可能です。

ノズルジェット洗浄による精密洗浄と、ホットエアーナイフ乾燥による短時間での完全乾燥を実現し、除電・除塵対策や死水防止機能も標準搭載しています。さらに、自動FOUPオープナー機構の追加にも対応し、現場ニーズに柔軟に応えます。

SMIF POD マニュアル洗浄システム IA-8

SMIF POD マニュアル洗浄システム IA-8
引用元:ヒューグルエレクトロニクス

IA-8は、8インチ用SMIF PODの精密洗浄・乾燥を目的に開発された、前面タッチパネル方式のマニュアル洗浄システムです。

容器洗浄装置メーカーとして培った高度な知識と最新技術を集約し、研究用途やパイロットラインに適した装置として設計されています。SMIF PODのカバー内外面およびベース内面を同時に純水ジェット洗浄し、エアーナイフによる温風乾燥で効率的かつ確実な処理を実現します。

洗浄時にはポッドを回転させ、至近距離に配置したノズルからムラのない精密洗浄を行います。洗浄中以外は純水排水量を抑え、バクテリア発生を防止する設計も特長です。操作性に優れたタッチパネルと安全装置を備え、メンテナンス性や拡張性にも配慮しています。

カセット・ボックス フルオート洗浄システム SC-8

カセット・ボックス フルオート洗浄システム SC-8
引用元:ヒューグルエレクトロニクス

カセット・ボックス フルオート洗浄システム SC-8は、最大8インチウェハキャリアやBOXまで対応可能な自動洗浄装置です。専用トレイにセットされた容器は各処理チャンバーで効率的に洗浄・乾燥され、パーティクル防止対策を施した独自ローラー方式で搬送されます。

省スペース設計で省エネにも配慮し、ホットエアーナイフによる完全乾燥や多様なオプション対応も可能で、SEMI S2、S8、CE規格にも準拠しています。

◇超音波ドライクリーナー

超音波ドライクリーナーは、ワーク表面に付着したミクロン径の異物を、超音波振動を付与したエアーにより剥離・回収する非接触方式のドライ洗浄システムです。基材に直接触れることなく除塵を行うため、傷やダメージを与えず、高精度な清浄化を実現します。

フラットパネルディスプレイ、半導体、光学フィルム、二次電池など、幅広い分野で導入されており、微細なパーティクル除去に高い効果を発揮します。

フィルム、印刷、製紙、磁気テープ、CCL業界の異物対策

ローラー
引用元:ヒューグルエレクトロニクス

フィルム、印刷、製紙、磁気テープ、CCL業界では、製品品質を左右する異物対策が極めて重要です。

ヒューグルエレクトロニクスは、ベースフィルムの製膜工程から機能性フィルムの塗工・貼り合せ、印刷、スリット、検査工程に至るまで、半世紀以上にわたり非接触式超音波クリーナーによる除塵対策に取り組んできました。

ミクロンサイズのパーティクル除去を得意とし、各工程の特性や設置環境に応じた最適な提案を行っています。東京・大阪のデモルームでの性能評価やデモ機貸出にも対応し、実工程での課題解決と歩留まり向上を継続的に支援しています。

非接触式超音波クリーナー(ウェブ用)USW-102/103

非接触式超音波クリーナー(ウェブ用)USW-102/103
引用元:ヒューグルエレクトロニクス

独自の超音波セルを二列チドリ配置した構造により、ウェブ表面に付着したミクロンサイズの異物を強力に剥離・除去するクリーニング装置です。

高機能性フィルムや光学フィルム、金属箔、紙、各種ロール表面まで幅広く対応し、非接触方式のため製品を傷付けず、静電気やファイバー付着の発生も抑制します。

標準型のUSW-102に加え、高圧エアーで除塵効果を高めたUSW-103もラインアップし、高速搬送ラインにも対応可能です。用途や条件に応じた最適な異物対策を実現します。

非接触式超音波小型クリーナー SPW-X1シリーズ

非接触式超音波小型クリーナー SPW-X1シリーズ
引用元:ヒューグルエレクトロニクス

非接触式超音波小型クリーナー SPW-X1シリーズは、フィルム幅400mmまでの表面クリーニングに最適な装置です。省スペース設計のため、設置スペースが限られる既存のフィルム搬送ラインにも容易に導入できます。コンプレッサーエアーや排気ラインを活用することで初期導入費用を抑えつつ運用可能です。

オプションの電極タブクリーニングユニットを追加すれば、二次電池製造工程における電極タブ周辺の微細異物も破損させずに除去できます。既設ラインへの追加設置も容易で、歩留まり向上に貢献します。

スリッター切粉除塵用エッジクリーナー EGC

スリッター切粉除塵用
エッジクリーナー EGC
引用元:ヒューグルエレクトロニクス

スリッター切粉除塵用エッジクリーナー EGCは、スリット直後のワークエッジ部に付着した切断粉を効率的に除去する装置です。エジェクターユニットと併用することで、コンプレッサーエアー(CDA)の供給のみで運用が可能です。

ワーク端部の両面を同時にクリーニングできるため、高機能フィルムや電極のスリット工程にも適しています。既存の工場設備を活用できる省コスト設計で、コンパクトなため既設ラインへの追加設置も容易です。二次電池製造工程などでの歩留まり向上に貢献します。

◇イオナイザ

イオナイザは、生産ラインや研究開発工程における静電気対策として重要な役割を担う装置です。静電気によるパーティクルの付着や放電トラブルを未然に防ぐことで、歩留まり向上や品質安定に貢献します。

クリーンイオナイザーは、半導体の微細化や三次元化に対応し、フラットパネルディスプレイ分野では大型基板や有機EL、マイクロLEDなど最先端工程で採用実績があります。さらに二次電池や燃料電池分野でも生産性改善に寄与しています。

非接触で除電・除塵を行うため、製品への影響を抑えながら安定した静電気対策が可能です。用途に応じた最適な機種選定により、より効果的な対策を実現できます。

DC式イオン送風器 MODEL 1900

DC式イオン送風器 MODEL 1900
引用元:ヒューグルエレクトロニクス

DC式イオン送風器 MODEL 1900は、厚さ48mmの超薄型・小型設計により、省スペース化を実現したイオン送風器です。

装置内部や限られた設置スペースにも対応し、生産設備への組み込みにも適しています。電子制御式オートコントロール機能を搭載し、安定したイオンバランスを自動で維持します。LED表示により動作状態やクリーニング時期、アラーム警告を視覚的に確認でき、管理性にも優れています。

さらに放電針クリーニングブラシを内蔵しており、ノブ操作のみで清掃が可能なため、日常メンテナンスの負担を軽減します。CEマーキング取得済みで、安全性と信頼性を兼ね備えたモデルです。

ペンタイプイオナイザ MODEL 3080S

ペンタイプイオナイザ
MODEL 3080S
引用元:ヒューグルエレクトロニクス

新機能のパルスエアーを搭載し、除塵率をさらに向上させた精密除電装置です。高周波で発生させたイオンをエアーまたは窒素でシリコンウェハやガラスマスク表面に吹き付け、静電気によって付着した微細なダストを素早く正確に除去できます。

Φ1.5mmの極小ノズルによりピンポイントでの除電性能が向上し、操作スイッチはペン本体グリップ部に配置されているため、作業性も優れています。放電針は簡単に交換可能なコネクター方式を採用し、CEマーキング取得済みで安全性も確保されています。

フレキシブルAC式イオナイザバー MODEL 4100V

フレキシブルAC式イオナイザバー MODEL 4100V
引用元:ヒューグルエレクトロニクス

新制御方式(フレキシブルAC)を採用し、搬送中の近距離からクリーンブースの遠距離まで幅広く安定した除電が可能な装置です。本体底面のイオン量センサーで帯電状態やイオンバランスを計測し、状況に応じて印加電圧を自動制御することで、除電効率を最大化します。11段階の周波数設定により設置環境に最適化でき、放電針ピッチ80mmで広範囲にイオンを供給します。

LEDパネルで動作状態やクリーニング時期を確認でき、放電針ホルダーはワンタッチで交換可能です。さらに周囲エアーによる針先の汚れ付着を防ぎ、低メンテナンスで運用できます。各種オプションや消耗品も揃っており、多様な生産環境で安心して使用いただけます。

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ここでは、高い除塵性能と信頼性を備えたおすすめのフィルムクリーナーを提供する企業を3社ご紹介します。

◇若水技研株式会社

若水技研株式会社
引用元:若水技研株式会社

若水技研株式会社は、微細溝加工ロールの専門メーカーとして、フィルムや金属箔、紙のスリップ・シワ・スクラッチなどの問題を豊富な実績と検証データで解決しています。

材料特性やライン構成、運転条件まで踏み込んだ分析により、搬送・張力・巻取りを含めた最適なウェブハンドリングを総合的に提案可能です。業界唯一の100%性能保証体制を整え、効果を数値で明確化しています。

会社名若水技研株式会社
所在地〒578-0903
大阪府東大阪市今米2-5-9
電話番号072-961-4500
公式ホームページhttps://wakamizugiken.co.jp/

さらに物理的・条件的な限界まで示す設計力で、現実的かつ納得感のある改善策を提供します。テストラインを用いた実機評価サービスにより導入前に性能を確認でき、超音波クリーナーによる微細異物除去で歩留まりと品質の向上も実現します。

◇株式会社伸興

株式会社伸興
引用元:株式会社伸興

株式会社伸興は、昭和39年創業のウェブ・電子材業界向け機器メーカーで、省力化と高生産性を実現する装置開発やコンサルティングを行っています。国内8拠点、海外3拠点のネットワークを活かし、迅速な営業・サポート体制を整えています。

主力のクリーナーは累計3,500式以上の導入実績があり、1cmから11mまでの幅広い対応が可能です。クラス100のクリーンルームで年間150回以上の実証テストを行い、導入前に性能を確認できる体制を整えています。

会社名株式会社伸興
所在地〒551-0021
大阪府大阪市大正区南恩加島5-8-84
電話番号06-6552-3170
公式ホームページhttps://shinko-jp.biz/

また、総合クリップチェインメーカーとして年間50万式以上の生産実績を持ち、特殊仕様にも対応可能です。豊富な経験と技術力で、現場改善と高歩留まりの実現に貢献しています。

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◇カンセンエキスパンダー工業株式会社

カンセンエキスパンダー工業株式会社
引用元:カンセンエキスパンダー工業株式会社

カンセンエキスパンダーは、フィルム・金属箔・製紙分野におけるシワ除去に特化したエキスパンダーロールの国内シェアNo.1メーカーです。長年にわたり培ってきた技術と実績を背景に、製造品質の向上と歩留まり改善に大きく貢献してきました。

単にシワを除去するだけでなく、材料特性や工程条件を踏まえた最適な提案力に強みがあります。また、「使い勝手の良い製品」を追求し、既存の概念にとらわれない開発姿勢を貫いている点も特長です。

会社名カンセンエキスパンダー工業株式会社
所在地〒573-0094
大阪府枚方市南中振2-31-3
電話番号072-831-7321
公式ホームページhttps://kansenexp.co.jp/

エキスパンダーロール専業メーカーとして、導入前後を通じたきめ細かな対応を行い、コンバーティング業界を支える重要な存在として信頼を集めています。

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まとめ

まとめ
引用元:フォトAC

ヒューグルエレクトロニクスは、1969年に米国ヒューグルインダストリーズの極東支社として創業し、その後独立メーカーとして半世紀以上にわたり半導体・フラットパネル製造装置分野で成長を遂げてきました。

容器洗浄装置や超音波ドライクリーナー、イオナイザなど、多岐にわたる製造工程向け装置を開発・提供しており、精密洗浄や静電気対策、異物除去などで高い信頼を獲得しています。特に、FOUPやSMIF POD向けのマニュアル・フルオート洗浄装置は、省スペース設計と高スループットを両立し、現場の生産性向上に大きく貢献しています。

非接触式超音波クリーナーは、微細なパーティクルの除去に優れ、フィルム・印刷・製紙・二次電池など幅広い業界で歩留まり改善を実現。また、イオナイザ装置は静電気による不良防止や品質安定に重要な役割を果たし、半導体やフラットパネル分野のみならず二次電池製造でも活用されています。

ヒューグルエレクトロニクスは、先進技術と長年の実績に基づき、製造現場に寄り添ったソリューションを提供し、品質向上と生産安定を支える信頼のパートナーとして、今後も産業の進化を技術で支え続ける企業です。

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